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经典μsurf explorer 3D共聚焦显微镜产品采用多孔共聚焦技术,结合CCD的影像摄取,以有许多孔洞的旋转盘取代侦测器的孔洞,再将物镜垂直移动,以类似断层摄影方式,可在短时间(约几秒)内精确量测物体的三维数据。其测量方式是非接触式,不会破坏样品的表面,不需要在真空环境下测量,也可以用共聚焦显微镜测量的功能来观测样本,其在严酷的工作环境下,也能正常使用。

经典μsurf explorer 3D共聚焦显微镜产品采用多孔共聚焦技术,结合CCD的影像摄取,以有许多孔洞的旋转盘取代侦测器的孔洞,再将物镜垂直移动,以类似断层摄影方式,可在短时间(约几秒)内精确量测物体的三维数据。其测量方式是非接触式,不会破坏样品的表面,不需要在真空环境下测量,也可以用共聚焦显微镜测量的功能来观测样本,其在严酷的工作环境下,也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法,在测量渐变较大的高度时,跟其他方法相比,可以更精确量测物体高度,建立3D立体影像,优势相当明显。 

经典μsurf explorer 3D共聚焦显微镜精密测量、表面分析系统机台功能齐全,结构紧凑,性价比高,并拥有超高光学分辨率和最全面广泛的三维表面形貌分析能力。 

应用 
      μsurf系列用来测量表面物理形貌,进行微纳米尺度的三维形貌分析,如3D表面形貌、2D的纵深形貌、轮廓(纵深、宽度、曲率、角度)、表面粗糙度等。 
 精密部件:检测对表面磨损,表面粗糙度,表面微结构有要求的零部件,比如发动机汽缸等; 
 生命科学:测量stents支架上镀层厚度等 
 微电子机械系统:微型器件的检测,医药工程中组织结构的检测,如基因芯片等 
 半导体:检测微型电子系统,封装及辅助产品结构设计 
 太阳能:电池片栅线的3D形貌表征、高宽比测量,制绒后3D形貌表征(单晶金字塔大小、数量、角度,多晶腐蚀坑形貌、密度),粗糙度分析等 
 纸张:纸张、钱币表面三维形貌测量


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