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更新时间:2019-04-17访问人数: 43次

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公司名称: 北京艾尔利达科技有限公司 号:646

联系电话:15857100067 QQ:342806899


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TREK645/646 静电卡盘电源

TREK 645软件驱动式静电卡盘电源,可满足各种要求苛刻的应用,效率及吞吐量是其它品牌产品的三倍,彻底消除了晶片粘贴及晶片爆裂的情况,能够更好地控制颗粒物对晶片的污染。

  TREK645/646 静电卡盘电源

TREK 645软件驱动式静电卡盘电源,可满足各种要求苛刻的应用,效率及吞吐量是其它品牌产品的三倍,彻底消除了晶片粘贴及晶片爆裂的情况,能

够更好地控制颗粒物对晶片的污染。

应用
TREK645拥有卓越的性能及强大通用性,可用于多种特有的工具/工艺,而不需要为每种不同的工具/工艺选配一种新电源。并内置抓取晶片检测功能

(临界值可通过程序设置):指明晶片抓取事件,由低压正弦波产生的电容性电流,在相位A及相位B输出上叠加合成,可被监测但是也可通过程序设

置禁用。叠加波形用于指示无晶片,有晶片,或晶片夹紧状态。
静电吸附驱动的材料抓取搬运;半导体晶片加工;平板及其它加工材料的非机械化转移,材料不适合机械夹持方法的。
输出相位
同步高压输出:两个同步高压输出(输出相位A及输出相位B)幅度相同,极性与补偿电压相反。
电压A(基准相位): 0 to ±2KV 
电压B(相位B=[-1]x 相位A):0 to ±2KV 
输出电压范围:0 to ±2KV DC
输出电流范围:0 to ±6.5mA DC 峰值容量10mA
内部控制
补偿电压(此功能可通过程序禁用):一个高达±2KV的补偿电压可同步添加到每个相位的输出。不管A和B处的电压和极性是什么,添加补偿电压后

,补偿电压的幅值及极性同时在输出A及B处出现。补偿电压和每个相位的输出电压总和不能超过±2KV。
输出波形:每个DC输出电压(相位A及相位B)的高低与时间的升降对称 ,或者可通过用户设定的夹持及松开的波形来编辑。
输入
设置高压值:HV幅值可以通过设备在内部或从外部控制
设置补偿电压:补偿电压可以通过设备在内部或从外部控制
输出电压监视器(背板连接器)
输出比:1 V/200 V
相位B DC:精度优于满量程的2%
偏移电压:< 10mV 
输出杂讯:< 50mV rms
稳态电压泄漏电流监视器
输出比:1V/100μA
DC 精度:±5μA
输出杂讯:< 50mV rms
电容性负载选择:根据系统及静电卡盘的物理构形,卡盘抓取的电容状态范围可通过程序在0-10,20 或30nF(相间)间选择。
参数
尺寸:    43.7mm H x 421.6mm W x 457.3mm D
面板宽度:    482.6mm
重量:    3.86Kg
连接器:     15针D型ITT Canon,用于连接远程监控设备,9-针D型ITT Canon RS-232,3针 FCT D型 高压,标准A型 USB,以太网(选配)及面


PowerON/OFF电源开/关:     2位摇杆开关
运行环境
温度:     0℃-35℃
湿度:     达85%,无结露
海拔高度:    达2000m
电气参数
DC输入接口:     2.0mm 锁定DC 插孔,中心触点为正极,壳部为负极(与Switchcraft S761K 插头连接)
接地:     接地螺栓
电源要求:    24VDC,1.7A


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